Bl-iżvilupp tal-industrija tas-semikondutturi taċ-Ċina, l-iżvilupp ta 'komponenti ewlenin għat-tagħmir tal-proċess sar restrizzjoni kritika fuq l-iżvilupp tat-tagħmir. Hekk kif is-sejħa għal lokalizzazzjoni domestika tat-teknoloġija tas-semikondutturi tikber aktar b'saħħitha, aktar u aktar teknoloġiji ta 'konġestjoni fl-industrija tas-semikondutturi se jingħelbu. Ibbażat fuq snin ta 'esperjenza fl-industrija tas-semikondutturi, il-kumpanija tagħna żviluppat mutur servo b'veloċità għolja -xaft vojta- biex jassorbi wejfers f'tagħmir ta' kisi, żvilupp u tindif tas-semikondutturi. Dan il-mutur għandu aċċelerazzjoni għolja, firxa wiesgħa ta 'veloċità, u rispons għoli, u ġie mfaħħar ħafna mill-klijenti fl-industrija.
Applikazzjonijiet tal-mutur servo ta'-xaft vojt:
Tagħmir ta 'espożizzjoni u żvilupp (kisi, żvilupp): It-tagħmir ewlieni għall-proċessi tal-fotolitografija, il-kontroll tal-kisi, l-espożizzjoni, u l-iżvilupp.
Tagħmir għat-tindif, il-kisi, l-iżvilupp u t-tneħħija tal-film.
Adattat għat-tindif fiżiku tat-tlaħliħ, tindif tal-partiċelli, u proċessi tal-isprej.
Speċifikazzjonijiet tal-Prodott u Oqsma ta' Applikazzjoni tal-Prodott Servo tax-Xaft vojt:
750W / 1000W - 5000, 6000 rpm
Oqsma ta' Applikazzjoni (Mudelli ta'-għoli):
Tagħmir semikonduttur ta '8-il pulzier u 12-il pulzier.
Proċessi bħal kisi, żvilupp, tindif, u inċiżjoni.
L-aċċelerazzjoni massima tista 'tilħaq 50000 R/S² aċċelerazzjoni istantanja.
Disinn speċjali tat-tarf tax-xaft jiżgura l-inqas koeffiċjent ta 'runout tat-tagħbija tat-tarf tax-xaft.
